在微纳技术快速发展的当下，表面测量设备的精度与可靠性成为科研与工业生产的关键支撑。泽攸科技推出的 JS100C/200C/300C 系列半自动台阶仪，凭借扎实的技术实力与灵活的适配能力，为各行业微纳测量需求提供了可靠解决方案。
作为国产高精度表面测量设备的代表，该系列台阶仪采用创新技术架构，核心在于金刚石探针与样品表面的接触扫描方式，搭配高灵敏度传感器与先进信号处理算法，能够精准捕捉微观轮廓的垂直位移，实现纳米级精度的表面特征测量。其超微压力恒定控制系统可精密调节探针与样品间的接触压力，范围覆盖 0.5~50mg，既有效避免了对软质材料的损伤，又保障了测量过程的稳定性。同时，设备搭载的双摄像头实时成像系统，能同步观察样品区域与探针尖端位置，帮助用户精确定位特征结构，显著提升测量效率。
在性能表现上，该系列台阶仪展现出出色的适配性与精准度。重复性测量偏差≤0.5nm，最大测量范围达 160um，支持 200 万点高密度采集，扫描速度可在 5um/s-1000um/s 之间灵活调节。针对不同需求，产品提供 6 寸（JS100C）、8 寸（JS200C）、12 寸（JS300C）多种样品尺寸适配，样品台可实现水平（X/Y）及旋转（RZ）电动控制，XY 行程达 150mm，旋转分辨率 0.1°，满足多样化测量场景。无论是刻蚀、沉积薄膜的厚度检测，还是多晶硅材料的粗糙度、翘曲度分析，亦或是薄膜应力测量与 3D 扫描成像，该系列设备都能提供全面的参数支持。
展开剩余34%产品采用模块化设计与一体式集成结构，不仅操作便捷，还具备售后响应迅速的优势，搭配高性价比的市场定位，成为国内高校、科研机构及制造企业的优选设备。其应用场景已广泛覆盖半导体、LED、太阳能、MEMS 微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等多个领域，为行业技术研发与质量控制提供了有力保障。
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台阶仪
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